边沿推进式电阻修刻方法

摘要

本发明公开了边沿推进式电阻修刻方法，采用目前通用的激光修调系统完成激光产生、定位、移动及阻值监测等过程，其特征在于进刀时控制激光束交替进行下述两个步骤的刻蚀运动：1)以待刻电阻任一原始外边沿曲线的两端为起点和终点，激光束自宽为宽度沿该外边沿曲线轨迹移动刻蚀，轨迹经过处电阻材料被全部刻蚀并产生新的外边沿曲线后，激光束终点滞留或返回起点滞留；2)激光束从前述滞留点开始，推进至新的外边沿曲线，代替步骤1)中的原始外边沿曲线刻蚀。本发明修刻后的电阻稳定性高、抗电磁干扰能力强，直接对传感器等功能电路模块的贴片电阻二次修刻，来实现增益或零位的自动调节，有效避免阻值突变和人工匹配电阻效率低、精度低的缺点。

主权项

1.一种边沿推进式电阻修刻方法，采用目前通用的激光修调系统，包括由激光器产生激光束，经光束定位系统扩束聚焦在工作台中处于焦平面位置的待刻电阻固定盘上，通过阻值动态测量系统实时监测输出反馈控制信号给激光修调设定器程序改变Q频率、刻蚀尺寸和改变切割的修调方向，并自动校正；其特征在于进刀时控制激光束交替进行下述两个步骤的刻蚀运动直至达到电阻设定值而停止：1)以待刻电阻任一原始外边沿曲线的两端为起点和终点，激光束自宽为宽度沿该外边沿曲线轨迹移动刻蚀，轨迹经过处电阻材料被全部刻蚀并产生新的外边沿曲线后，激光束终点滞留或返回起点滞留；2)激光束从前述滞留点开始，推进至新的外边沿曲线，代替步骤1)中的原始外边沿曲线刻蚀。