类单晶的制备方法

摘要

一种类单晶的制备方法，其包含下列步骤。设置多个坩埚于炉体内。于每一坩埚中设置一单晶晶种。于每一坩埚中设置硅料于单晶晶种上。进行长晶步骤，以利用每一坩埚中的硅料与单晶晶种形成一类单晶晶碇。借此，可在长晶时达到无晶界面的目的，并可减少晶碇的缺陷。

主权项

一种类单晶的制备方法，其特征在于，包含：设置多个坩埚于一炉体内；于每一所述坩埚中设置一单晶晶种；于每一所述坩埚中设置一硅料于该单晶晶种上；以及进行一长晶步骤，以利用每一所述坩埚中的该硅料与该单晶晶种形成一类单晶晶碇。