发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICES AND METHODS OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자는, 기판으로부터 돌출된 적어도 하나의 활성 핀, 활성 핀을 교차하는 게이트 구조물, 게이트 구조물이 연장되는 방향을 따라 나란히 연장되는 리세스부를 포함하고, 활성 핀 상에 배치되는 임베디드 소스/드레인, 및 임베디드 소스/드레인 상에서 리세스부의 일부분을 덮도록 배치되는 콘택 플러그를 포함한다.
申请公布号 KR20160141034(A) 申请公布日期 2016.12.08
申请号 KR20150073726 申请日期 2015.05.27
申请人 삼성전자주식회사 发明人 박상진;고기형;권기상;백재직;윤보언;고용선
分类号 H01L29/78;H01L29/66 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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