| 摘要 |
【課題】半田付け装置のチャンバー内のギ酸ガス等のカルボン酸ガス濃度を、リアルタイムで安全に測定することができるカルボン酸ガス濃度の推定方法、及びチャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定可能な半田付け装置を提供する。【解決手段】反応用のカルボン酸ガスを導入したチャンバー内におけるカルボン酸ガス濃度を推定する方法では、カルボン酸による赤外線吸収の影響を受けることなく温度を測定できる温度計（第一の温度計）と、カルボン酸が吸収する波長域の赤外線で温度を測定する放射温度計（第二の温度計）を用いて、前記チャンバー内に配置された同一物体の表面温度を同一時点で測定し、第一の温度計と第二の温度計の温度差（&Dgr;Ｔｘ）から、チャンバー内のカルボン酸ガス濃度を推定する。半田付け装置は、加熱ステージ、不活性ガスとカルボン酸ガスとの混合ガス導入手段、ガス排出手段、第一の温度計、第二の温度計とを備えたものである。【選択図】図１ |
