高温用圧電素子の電極の製造方法および高温用圧電素子の構造

摘要

【課題】従来の電極用スラリーのコーティングが除去され、高温の環境下でも抵抗値が比較的安定している高温用圧電素子の電極の製造方法および高温用圧電素子の構造を提供すること。【解決手段】高温用圧電素子の電極の製造方法は、形成された圧電材料（１）の表面に従来の導電性スラリーをコーティングする工程と、圧電材料（１）を分極する工程と、その表面上の導電性スラリー（２）のコーティングを除去し、その圧電効果により生成される信号を出力するために圧電材料に電極リード線（３）を接続する工程とを含む。高温用圧電素子の構造は、分極された圧電材料（１）を含み、金属製の導電性スラリー（２）のコーティングは、分極された圧電材料の表面から除去され、分極された圧電材料（１）の表面は、圧電効果により発生した信号を電極リード線（３）に接続されている。電極用スラリーの従来のコーティングを除去することにより、高温下の電極材料の高温拡散による圧電素子の出力抵抗が低下することを回避し、圧電素子の熱的性能が改善される。電極としてダイヤモンドまたはグラファイトコーティングを加えることによって、圧電素子の電荷の出力感度が向上する。【選択図】図１