薄膜形成装置

摘要

本发明提供用简单的构造、可容易地将基板相对于筒式基板座的外周面安装、取下的薄膜形成装置。筒式基板座(5)以水平方向的旋转轴为旋转中心，以水平状态可旋转地支承在成膜室内。用臂把固定保持着基板(12)的基板固定夹具(13)水平地运送到筒式基板座(5)的外周面上。这样，可以用设在筒式基板座(5)外周面角部(5a)上的固定装置(14)，将基板固定夹具(13)的端部(13b)固定。

主权项

1.一种薄膜形成装置，在可真空排气的容器内，将若干个基板保持在相对于旋转轴可自由旋转的筒状基板座的外周面上，一边使上述基板座旋转，一边用成膜机构在上述各基板上形成薄膜；其特征在于，备有运入·运出机构和固定机构；上述运入·运出机构，把可装卸地固定在上述基板座外周面上的、用于固定保持单个基板或若干个基板的基板固定夹具以及基板本身中的任一方，相对于上述容器内的上述基板座运入和运出；上述固定机构，把由上述运入·运出机构运入的上述基板固定夹具及基板本身中的任一方，可解除固定地固定在上述基板座的外周面上，上述基板座，以水平的旋转轴作为旋转中心地设置着；上述运入·运出机构设置在上述容器外，在与上述旋转轴平行的方向沿上述基板座的外周面运入上述基板固定夹具及基板本身中的任一方；上述固定机构直接固定利用上述运入·运出机构运入的上述基板固定夹具及基板本身中的任一方。