非線形光学結晶の不動態化

摘要

検査器具に用いるための非線形光学結晶の不動態化は、フッ素、フッ化物イオン、及びフッ化物含有化合物のうちの少なくとも１つの存在下で非線形光学結晶を成長させることと、非線形光学結晶を機械的に調製することと、非線形光学結晶にアニーリングプロセスを実施することと、非線形光学結晶を水素含有または重水素含有不動態化ガスに曝露することとを含む。