半导体设备中的双轴对准装置及方法

摘要

本发明涉及半导体生产和加工领域。本发明提供了一种半导体设备中双轴对准装置，包括晶圆固定盘、定位片、定位盘、喷头以及激光器件；其中，晶圆固定盘在竖直方向上具有上升和下降的自由度，在水平面内具有沿着或平行于两个相互垂直的横方向和纵方向平移的自由度；定位片与晶圆固定盘水平固定安装，定位片上设置有反射镜和挡板，反射镜的反射面与水平面的夹角为45°，挡板上开设有通孔；定位盘与喷头水平安装固定，定位盘上设置有激光器件，该激光器件包括发射部和接收部，发射部朝着喷头的中心轴所在的位置水平发射激光束，当激光束穿过通孔由反射镜反射至接收部时，激光器件产生感应信号。该装置能够在两轴对准后提醒操作人员。

主权项

一种半导体设备中的双轴对准装置，其特征在于，包括晶圆固定盘、定位片、定位盘、喷头以及激光器件；所述晶圆固定盘在竖直方向具有上升和下降的自由度，在水平面内具有沿着或平行于两个相互垂直的横方向和纵方向平移的自由度；所述定位片与所述晶圆固定盘水平安装固定，所述定位片上设置有反射镜和挡板，所述反射镜的反射面与水平面的夹角为45°，所述挡板上开设有通孔，所述通孔的深度方向沿着或平行于所述横方向或纵方向，所述通孔沿着其深度方向的延长线垂直于所述反射面与水平面的相交线，且所述通孔沿着其深度方向的延长线与所述反射面的交点在所述晶圆固定盘的中心轴上；所述定位盘与所述喷头水平安装固定，所述定位盘上设置有激光器件，该激光器件包括发射部和接收部，所述发射部相对于所述定位盘突出并适合于沿着或平行于所述通孔的深度方向朝着所述喷头的中心轴所在位置水平发射激光束，并且所述接收部的接收位置在所述喷头的中心轴上。