| 摘要 |
본 발명은, 플라즈마 발생 장치 및 전원 장치를 포함하는 시스템에 있어서, 고장이 생긴 경우의 대책을 강구할 수 있고, 조기 복구를 가능하게 하는 전원 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그리고, 본 발명은, 단락 전류를 억제하는 한류 리액터(Lc)와, 인버터(3)의 동작을 제어하는 제어부(6)와, 단락을 검지하는 검출부(31, 32, 41, 42)를, 구비하고 있다. 그리고, 제어부(6)는, 단락이 생긴 때, 인버터(3)를 정지시킨다. |
