研磨部件外形的调整方法

摘要

本发明提供一种研磨部件外形的调整方法，在所述调整方法中，通过对所述研磨部件各个区域进行不同条件下的调整，可以使得所述研磨部件的表面一直保持平整，从而提高了所述研磨部件整体的研磨均匀性；减少了所述研磨部件沟槽内研磨副产物的残留，避免了对研磨晶片的划伤；使得所述研磨部件不同区域的研磨去除速率一致，提高了所述研磨部件不同区域的研磨均匀性；延长了所述研磨部件的使用寿命，节约了研磨成本。

主权项

一种研磨部件外形的调整方法，其特征在于：包括以下步骤：1)提供研磨部件和用于调整所述研磨部件外形的研磨调整装置，所述研磨调整装置包括一调整圆盘；2)将所述调整圆盘置于所述研磨部件上并做摆动，所述调整圆盘的摆动轨迹由多个摆动区域构成；所述调整圆盘在一个所述摆动区域内的摆动时长、摆动速度和所受压力与所述调整圆盘在另一个所述摆动区域内的摆动时长、摆动速度和所受压力之间至少有一个互不相等。