| 摘要 |
비점수차를 이용한 변위 센서 및 그 변위 측정방법이 개시된다. 본 발명의 변위센서는 센서부와 측정부를 포함한다. 센서부는, 물체와 대향하는 대물렌즈와, 레이저 다이오드에서 출사되는 광을 상기 대물렌즈로 반사하고 상기 대물렌즈에서 반사된 상기 빔을 통과시키는 편광 빔 스플릿터와, 상기 스플릿터에서 통과된 빔이 입사되는 실린더형 렌즈와, 4개 포토 다이오드로 구현되어 상기 실린더형 렌즈에서 출사되는 광이 결상하는 위치감지검출기를 구비한다. 측정부는 상기 위치감지검출기에 결상된 빔에 의해 4개 포토 다이오드에서 출사되는 전압을 이용하여 상기 물체의 z축 방향 병진운동 값(V'), 상기 물체의 회전운동에 의한 상기 z축에 수직한 x축 방향 변위(Vx') 및 회전운동에 의한 상기 z축과 x축에 수직한 y축 방향 변위(Vy') 값을 계산하여 출력할 수 있다. 이러한 측정에 의하면, 회전운동에 독립적인 병진운동만을 측정할 수 있는 방법을 제시함으로써, 실제의 운동에서 회전이 있더라도 순수한 병진운동만을 측정할 수 있다. |
