Micromechanical capacitive accelerometer

摘要

Es wird ein mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor zur Erfassung der Beschleunigung eines Objekts in mindestens einer Richtung beschrieben, der eine Rahmenanordnung (110), eine aus einem Wafer gefertigte und relativ zu der Rahmenanordnung (110) um eine Drehachse beweglich gelagerte träge Sensormasse (101) und eine kapazitiven Erfassungseinrichtung (120) zur Erzeugung mindestens eines die Lage der Sensormasse (101) relativ zu der Rahmenanordnung (110) repräsentierenden kapazitiven Ausgangssignals umfasst. Die träge Sensormasse (101) hat einen Schwerpunkt, der gegenüber der Drehachse in einer Richtung senkrecht zur Waferebene versetzt angeordnet ist, um Beschleunigungen lateral zur Waferoberfläche zu messen. Die Sensormasse (101) und die Rahmenanordnung (110) sind monolithisch aus einem einzigen einkristallinen Silizium-Wafer gefertigt. Ein Deckelteil (112) bildet eine gemeinsame Anschlussebene(150) zum Anschluss von Kondensatorelektroden (125, 126). Tordierbare Elemente (105) bilden eine elektrisch leitende Lagervorrichtung für die Sensormasse (101).