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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR THE PLASMA TREATMENT OF WORK PIECES
摘要
申请公布号 EP1507891(A1) 申请公布日期 2005.02.23
申请号 EP20030732225 申请日期 2003.05.09
申请人 SIG TECHNOLOGY LTD. 发明人 LITZENBERG, MICHAEL;LEWIN, FRANK;MUELLER, HARTWIG;VOGEL, KLAUS;ARNOLD, GREGOR;BEHLE, STEPHAN;LUETTRINGHAUS-HENKEL, ANDREAS;BICKER, MATTHIAS;KLEIN, JUERGEN
分类号 B05D7/24;B08B7/00;B08B9/42;B29C49/42;B65D23/02;B65G29/00;C03C17/00;C08J9/00;C23C14/04;C23C14/50;C23C14/56;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/458 主分类号 B05D7/24
代理机构 代理人
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