电浆产生用的天线及具备该天线的电浆处理装置

摘要

明提供一种天线及电浆处理装置，天线是配置在真空容器内以用于产生电感耦合型电浆的天线，即使在加长天线的情况下，也能够抑制其阻抗增大。天线20配置在真空容器2内，用于使高频电流流经以使真空容器2内产生电感耦合型电浆16，所述天线20具备：绝缘管22；以及中空的天线本体24，配置在绝缘管22中，且内部流经有冷却水，天线本体24采用使中空绝缘体28介隔在相邻的金属管26间而将多个金属管26串联连接的结构，各连接部具有相对于真空及所述冷却水的密封功能。

主权项

一种天线，配置在真空容器内，且用于使高频电流流经而使所述真空容器内产生电感耦合型电浆，所述天线包括： 绝缘管；以及中空的天线本体，配置于所述绝缘管中，且内部流经有冷却水， 所述天线本体采用使中空绝缘体介隔在相邻的金属管间而将多个金属管串联连接的结构，各连接部具有相对于真空及所述冷却水的密封功能。