设计半导体元件布局的方法

摘要

设计半导体元件的布局方法，包括接收目标晶片的尺寸上的资讯和单位配置宽度，用于形成经由布局设计系统的自对准双图案化制程的闸极线。所述方法也包括在所述目标晶片分配输入输出区、硬巨集区、以及标准单元区，以及藉由应用闸极产生规则调整所述整标准单元区的宽度，用于将位于所述标准单元区的至少一个单元列的宽度设置为所述单位配置宽度的奇数倍。所述单位配置宽度对应于在所述自对准双图案化制程的成对闸极线的中心之间的宽度。

主权项

一种设计半导体元件布局的方法，所述方法包括： 接收目标晶片的尺寸上的资讯和单位配置宽度，用于形成经由布局设计系统的自对准双图案化制程的闸极线； 在所述目标晶片分配输入输出区、硬巨集区、以及标准单元区；以及 藉由应用闸极产生规则调整所述整标准单元区的宽度，用于将位于所述标准单元区的至少一个单元列的宽度设置为所述单位配置宽度的奇数倍，所述单位配置宽度对应于在所述自对准双图案化制程的成对闸极线的中心之间的宽度。