| 发明名称 |
Polierkissen mit Rillen zum Optimieren des Schlammverbrauchs |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602004007597(T2) |
申请公布日期 |
2008.04.17 |
| 申请号 |
DE20046007597T |
申请日期 |
2004.11.04 |
| 申请人 |
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS INC. |
发明人 |
MULDOWNEY, GREGORY P. |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B57/02;B24B37/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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