无光罩微影系统,申请号TW102224765-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	无光罩微影系统
摘要
申请公布号	TWM480700	申请公布日期	2014.06.21
申请号	TW102224765	申请日期	2010.01.14
申请人	国立台湾科技大学台北市大安区基隆路4段43号	发明人	郑正元;黄奕翔;蓝国玮
分类号	G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人	詹铭文台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址	台北市大安区基隆路4段43号

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