发明名称 顶针盖擦拭装置
摘要
申请公布号 TWM480761 申请公布日期 2014.06.21
申请号 TW102224695 申请日期 2013.12.27
申请人 旺矽科技股份有限公司 新竹县竹北市中和街155号 发明人 蔡振扬;陈建发;徐育埙;陈茂全;林家玮
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人 吴宏亮 台中市南屯区永春东一路549号3楼;刘绪伦 台中市南屯区永春东一路549号3楼
主权项
地址 新竹县竹北市中和街155号