テーパ制御のためのビーム角度とワークピース移動の連係方法

摘要

ビーム軸（32）の入射角度（ω）及び方位角（φ）をワークピース（22）に対して移動して、ビーム軸（32）に沿って伝搬される集束レーザビーム（30）により生成される切溝（120）の側壁（124）に対して所望のテーパ特性を得ることができる。