发明名称 半导体器件及方法
摘要 公开了一种半导体器件。一个实施例包括横向HEMT(高电子迁移率晶体管)结构,该横向HEMT结构具有两个不同III族氮化物半导体化合物之间的异质结和布置在异质结上的层。所述层包括III族氮化物半导体化合物和阻碍该层中电流流动的至少一个阻挡物。
申请公布号 CN103311291B 申请公布日期 2016.11.02
申请号 CN201310070870.1 申请日期 2013.03.06
申请人 英飞凌科技奥地利有限公司 发明人 G.普雷希特尔
分类号 H01L29/778(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I 主分类号 H01L29/778(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 曲宝壮;卢江
主权项 一种半导体器件,包含:横向HEMT结构,其包含第一负载电极、第二负载电极、控制电极、两个不同III族氮化物半导体化合物之间的异质结,以及布置在异质结上的层,该层包含III族氮化物半导体化合物和阻碍该层中电流流动的至少一个阻挡物,使得阻挡物不与控制电极接触。
地址 奥地利菲拉赫