发明名称 一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法
摘要 本发明涉及一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法,属于材料技术领域。先用真空雾化制粉设备,通过镍锭熔化、钒块熔化、硼块熔化、钛块熔化、钼块的熔化,铪粒和钴块及锆块的熔化及喷雾制成合金粉,将合金粉和钼粉按比例混合之后,经过合金粉的制备、制坯、烧结、轧制和拉伸制得产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。本发明制备的合金丝所制成的打底层既容易被锡液所浸润、腐蚀,进而使锡凝固后和打底层及背管紧密粘接在一起;又不会有打底层元素大量的溶解在锡液中造成锡液污染,从而保证了锡靶的纯度符合要求。
申请公布号 CN106086747A 申请公布日期 2016.11.09
申请号 CN201610515619.5 申请日期 2016.07.04
申请人 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司 发明人 秦国强
分类号 C23C4/06(2016.01)I;C23C4/131(2016.01)I;C22C27/04(2006.01)I;B22F3/02(2006.01)I;B22F3/10(2006.01)I;B22F3/24(2006.01)I;B22F9/08(2006.01)I 主分类号 C23C4/06(2016.01)I
代理机构 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人 殷红梅;张仕婷
主权项 一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝,其特征是配方比例如下:其由合金粉和钼粉组成,其中合金粉:钼粉质量比为2.5‑5:5‑7.5;将合金粉和钼粉按比例混合之后,经过合金粉的制备、制坯、烧结、轧制和拉伸制得产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
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