| 摘要 |
Ein Plasmaerzeugungselektrodenmodul umfasst: eine erste und eine zweite Elektrode, die voneinander beabstandet ausgebildet sind; und ein Dielektrikum, das zwischen der ersten und der zweiten Elektrode angeordnet ist, um die erste und die zweite Elektrode zu isolieren, wobei die erste Elektrode eine Schaftform aufweist, ein erstes zylindrisches Dielektrikum konzentrisch mit der ersten Elektrode so ausgebildet ist, dass es in Kontakt mit einem Außenumfang der ersten Elektrode ist und die erste Elektrode bedeckt, und die zweite Elektrode konzentrisch mit dem ersten Dielektrikum so ausgebildet ist, dass sie in Kontakt mit einem Außenumfang des ersten Dielektrikums ist und das erste Dielektrikum bedeckt, wobei eine Mehrzahl von Durchgangslöchern an der zweiten Elektrode angeordnet ist, wobei die erste und die zweite Elektrode verwebt ausgebildet sind. |
