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经营范围
发明名称
METHOD FOR METAL REPLACEMENT GATE OF HIGH PERFORMANCE DEVICE
摘要
申请公布号
EP1668706(A2)
申请公布日期
2006.06.14
申请号
EP20040786558
申请日期
2004.08.20
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
STEEGEN, AN, L.;KU, VICTOR;WONG, KWONG, HON;LI, YING;NARAYANAN, VIJAY;CABRAL CYRIL, JR.;JAMISON, PAUL
分类号
H01L21/28;H01L21/336;H01L29/49;(IPC1-7):H01L29/94;H01L21/320;H01L21/476
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
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