发明名称 METHOD FOR METAL REPLACEMENT GATE OF HIGH PERFORMANCE DEVICE
摘要
申请公布号 EP1668706(A2) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20040786558 申请日期 2004.08.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 STEEGEN, AN, L.;KU, VICTOR;WONG, KWONG, HON;LI, YING;NARAYANAN, VIJAY;CABRAL CYRIL, JR.;JAMISON, PAUL
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/49;(IPC1-7):H01L29/94;H01L21/320;H01L21/476 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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