取代的肟衍生物及其作为潜在酸的用途

摘要

通式(I)和(II)的新的肟磺酸酯化合物，(其中R₁是C_1-12烷基、C_1-4卤代烷基、氢、OR₉、NR₁₁R₁₂、SR₁₂或是未取代或被OH、C_1-18烷基、卤素和/或C_1-12烷氧基取代的苯基；R₂、R₃、R₄和R₅例如是氢或C_1-12烷基；R₆例如是C_1-18烷基磺酰基、苯基-C_1-3烷基磺酰基或苯磺酰基；R’₆是例如亚苯基二磺酰基或二亚苯基二磺酰基；R₇、R₈和R₉例如是氢或C_1-6烷基；R₁₀和R₁₁例如是氢或C_1-18烷基；R₁₂是例如氢、苯基或C_1-18烷基；A是S、O、NR₁₃、或A1、A2或A3的基团；R₂₁和R₂₂各自独立地具有R₇的定义；R₂₃、R₂₄、R₂₅和R₂₆各自独立地是例如氢、C_1-4烷基、卤素或苯基；Z是CR₂₂或N；和Z₁是CR₂₂或N；和Z₁是CR₂₂或N；和Z₁是-CH₂-、S、O或NR₁₃)特别适用于在光致抗蚀剂应用中作为光致潜在酸。

主权项

1.通式I或II的化合物其中R₁是C_1-12烷基、C_1-4卤代烷基、氢、OR₉、NR₁₀R₁₁、SR₁₂或是未取代或被OH、C_1-18烷基、卤素和/或C_1-12烷氧基取代的苯基；R₂、R₃、R₄和R₅各自独立地是氢、C_1-12烷基、C_1-4卤代烷基、卤素、苯基、OR₁₃、NR₁₄R₁₅、SR₁₆、CN、NO₂、C_2-6链烷酰基、苯甲酰基、-(CO)OR₉、-(CO)NR₁₀R₁₁或-(CO)SR₁₂；R₆是C_1-18烷基磺酰基、C_1-10卤代烷基磺酰基、樟脑基磺酰基、苯基-C_1-3烷基磺酰基、C_3-30环烷基磺酰基、苯磺酰基、萘磺酰基、蒽基磺酰基或菲磺酰基，其中在基团C_3-30环烷基磺酰基、苯基-C_1-3烷基磺酰基、苯磺酰基、萘磺酰基、蒽基磺酰基和菲磺酰基中的环烷基、苯基、萘基、蒽基和菲基是未取代的或被一个或多个卤素、C_1-4卤代烷基、CN、NO₂、C_1-16烷基、苯基、C_1-4烷硫基、OR₁₃、-(CO)OR₉、C_1-4烷基-(CO)O-、R₉OSO₂和/或-NR₁₄R₁₅取代；或R₆是C_2-6卤代链烷酰基、卤代苯甲酰基；或R₆是X₁、X₂和X₃各自独立地是O或S；R’₆是亚苯基二磺酰基、亚萘基二磺酰基、二亚苯基二磺酰基或氧基二亚苯基二磺酰基，其中这些基团是未取代的或被C_1-12烷基取代；或R’₆是C_2-12亚烷基二磺酰基；R₇和R₈各自独立地是氢、卤素、C_1-6烷基、C_1-6烷氧基、C_1-4卤代烷基、CN、NO₂、C_2-6链烷酰基、苯甲酰基、苯基、-S-苯基、OR₁₃、SR₁₆、NR₁₄R₁₅、C_2-6烷氧基羰基、苯氧基羰基、S(O)_nC_1-6烷基、S(O)_nC_6-12芳基、C_1-12烷基取代的S(O)_nC_6-12芳基、SO₂OC_1-6烷基、SO₂OC_6-10芳基或NHCONH₂；n是0、1、或2；R₉是氢、未取代的或被苯基、OH、C_1-12烷氧基、C_2-12烷氧基羰基、苯氧基、苯氧基羰基、苯硫基、苯硫基羰基、NR₁₄R₁₅、C_1-12烷基磺酰基、苯基磺酰基、(4-甲基苯基)磺酰基和/或C_2-6链烷酰基取代的C_1-18烷基；或R₉是被一个或多个-O-间开的C_2-18烷基，其是未取代的或被苯基、OH、C_1-12烷氧基、C_2-12烷氧基羰基、苯氧基、苯氧基羰基、苯硫基、苯硫基羰基、NR₁₄R₁₅、C_1-12烷基磺酰基、苯基磺酰基、(4-甲基苯基)磺酰基和/或C_2-6链烷酰基取代；或R₉是未取代的或被OH、C_1-18烷基、卤素和/或C_1-12烷氧基取代的苯基；R₁₀、R₁₁、R₁₄和R₁₅各自独立地是氢或C_1-18烷基；或是未取代的或被OH、C_1-18烷基、卤素和/或C_1-12烷氧基取代的苯基；或R₁₀、R₁₁、R₁₄和R₁₅是C_2-18链烷酰基、C_1-18烷基磺酰基或苯甲酰基；或R₁₀、R₁₁、R₁₄和R₁₅是未取代的或被一个或多个卤素或C_1-16烷基取代的苯基磺酰基；或R₁₀和R₁₁、或R₁₄和R₁₅与其相连的氮原子一起形成任意地被-O-或-NR₁₃-间开的5-、6-或7-元环；R₁₂是氢、苯基或C_1-18烷基；R₁₃具有R₉的定义之一或是C_2-18链烷酰基、苯甲酰基或C_1-18烷基磺酰基；或R₁₃是未取代的或被一个或多个卤素或C_1-16烷基取代的苯基磺酰基；R₁₆具有R₁₂的定义之一或是C_2-18链烷酰基、C_1-18烷基磺酰基或苯甲酰基；或R₁₆是未取代的或被一个或多个卤素或C_1-16烷基取代的苯基磺酰基；R₁₇、R₁₈、R₁₉和R₂₀各自独立地是未取代的或被卤素取代的C_1-6烷基；或R₁₇、R₁₈、R₁₉和R₂₀是未取代的或被C_1-4烷基或卤素取代的苯基；或R₁₉和R₂₀一起是未取代或被C_1-4烷基或卤素取代的1，2-亚苯基或C_2-6亚烷基；A是S、O或式A1的基团R₂₁和R₂₂各自独立地具有R₇的定义之一，和Z是CR₂₂或N。