| 摘要 |
成分分析装置は、試料の成分を分析する装置であって、レーザ光源、成分分析手段及び収容部を含む本体と、試料に対向するように配置される光学系ヘッドと、レーザ光源から出射されたレーザ光を光学系ヘッドに導くために、収容部から光学系ヘッドにまで延設された貫通耐圧機構付ファイバとを有する。収容部は、耐圧機能を有すると共にレーザ光源及び成分分析手段が収められる。光学系ヘッドは、貫通耐圧機構付ファイバから出射されるレーザ光を試料に照射すると共にレーザ光の照射により試料において発生したプラズマ発光光を貫通耐圧機構付ファイバに再入射させるミラー系を含む。成分分析手段は、貫通耐圧機構付ファイバに再入射したプラズマ発光光を分光分析する。 |
