| 摘要 |
Eine Messgeberskala, die relativ zu einem Detektorkopf verlagert wird, umfasst: ein Isoliersubstrat; eine leitfähige Klebeschicht, die auf dem Isoliersubstrat gebildet ist; und Schichten mit leitfähigen Strukturen, die auf der Klebeschicht in einer Form gebildet sind, die es dem Detektorkopf ermöglicht, eine Position zu detektieren, wobei: die Klebeschicht alle Strukturschichten elektrisch verbindet und eine Außer-Detektionsbereich-Struktur umfasst, die sich von einem Positionsdetektionsbereich des Detektorkopfes aus nach außen erstreckt; und die Außer-Detektionsbereich-Struktur über ein leitfähiges Element geerdet ist. |
