单晶拉制机与重型晶体的制造方法

摘要

提出一种拉制机和一种方法，利用此拉制机可按Czochralski－法使用拉制机拉制出特别重型的晶体。为此，晶体的颈部具有一变粗部位，它由一支承装置从下方抓住。该支承装置配有棘爪(7)，该棘爪可从一静止位置进入到一工作位置，在工作位置上时棘爪(7)从下方抓住变粗部位。每个棘爪(7)都可围绕一摆动轴(8)摆动地支承在基体上，并可占有两个稳定位置，即静止位置和工作位置。这两个位置中的每一个都由基体上的一止挡来限定。若棘爪贴靠在一个止挡上，则棘爪的重心从颈部(4)观察位于摆动轴(8)的对面；若棘爪贴靠在另一止挡上，则该重心处于摆动轴(8)的这一边。棘爪(7)的操作是利用固定在拉制机上的操作元件来实现的。

主权项

1.单晶拉制机、特别是按Czochralski-法的单晶拉制机，它配有：一晶体提升及旋转装置，利用该装置，晶体在其颈部处悬垂地从一熔液中被拉制出来，其中颈部具有一上部较细的部位和一下部较粗的部位，其间有一变粗部位；一对于晶体提升及旋转装置进行补充的、用于晶体的支承装置，该支持装置具有一可独立于晶体提升及旋转装置下降的、可协同晶体提升及旋转装置上升的基体，在该基体上至少如此地被支承着两个棘爪，使得这两个棘爪可以从一静止位置移动到一工作位置中，在静止位置上时，棘爪可使所述变粗部位经过；在工作位置上时，棘爪则从下方抓住该变粗部位，其特征在于，每个棘爪(7)都可围绕一摆动轴(8)摆动地被支承在基体(1)上；基体(1)对于每个棘爪(7)都具有一决定静止位置的止挡和一决定工作位置的止挡，其中这两个止挡是如此布置的，使得在静止位置上时从颈部(4)观察，棘爪(7)的重心处在摆动轴(8)的对面，而在工作位置上时其重心则处于摆动轴(8)的这一边。