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发明名称 TURNTABLE DEVICE FOR SPIN-COATING
摘要
申请公布号 EP1792311(A4) 申请公布日期 2008.07.16
申请号 EP20050808565 申请日期 2005.09.08
申请人 LG CHEM, LTD. 发明人 KANG, TAE-SIK;LEE, SEONGKEUN;HONG, YOUNGJUN
分类号 G11B7/26 主分类号 G11B7/26
代理机构 代理人
主权项
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