发明名称 电子元件
摘要 本发明涉及在由半导体材料构成的衬底(3)上具有金属层(9)的电子元件,其中在该金属层(9)与该衬底(3)之间构造了一个扩散阻断层(7),该扩散阻断层由一种材料来制造,该材料对于该金属层(9)的金属具有小的扩散系数。
申请公布号 CN101589466A 申请公布日期 2009.11.25
申请号 CN200880002906.X 申请日期 2008.01.09
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 R·菲克斯;O·沃尔斯特;A·马丁
分类号 H01L23/482(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L29/49(2006.01)I 主分类号 H01L23/482(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 李少丹;刘春元
主权项 1.在由半导体材料构成的衬底(3)上具有金属层(9)的电子元件,其特征在于,在该金属层(9)与该衬底(3)之间构造有扩散阻断层(7),该扩散阻断层由一种材料来制造,该材料对于该金属层(9)的金属具有小的扩散系数。
地址 德国斯图加特