发明名称 Connection electrode for phase change material, corresponding phase change memory element and production method thereof
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anschlusselektrode (4) für Phasen-Wechsel-Materialien (5), ein zugehöriges Phasen-Wechsel-Speicherelement sowie ein zugehöriges Herstellungsverfahren, wobei in einem Elektrodenmaterial (E) eine Vielzahl von voneinander getrennten Isolationsgebieten (I) zumindest an der Anschlussoberfläche ausgebildet sind. Auf diese Weise verringert sich eine Gesamt-Kontaktfläche wodurch auch bei hohen Integrationsdichten eine erforderliche joulesche Erwärmung und somit Programmierung bei sehr kleinen Strömen realisiert werden kann. </p>
申请公布号 EP1708292(A3) 申请公布日期 2007.09.19
申请号 EP20060110958 申请日期 2006.03.10
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SEIDL, HARALD
分类号 H01L45/00 主分类号 H01L45/00
代理机构 代理人
主权项
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