一种调焦调平检测装置

摘要

本发明涉及一种应用于投影光刻系统中的调焦调平检测装置，它的主要功能是对被曝光硅片的表面相对于投影物镜之间的距离和倾斜度进行高精度、低成本的检测。主要是在投影物镜和硅片之间放置了一组浮筒装置，该组浮筒装置与投影物镜或投影物镜支承进行刚性联接，该组浮筒装置对硅片表面的位置信息进行测量，测量结果送往调焦调平控制系统，经过信号处理和调焦调平量的计算后，驱动调焦调平执行器对工件台的位置进行调整，完成硅片的调焦调平。该装置简化了传统气压式调焦调平检测装置的控制结构，提高了检测精度，很好地解决了传统装置中的不足。

主权项

1、一种调焦调平检测装置，其特征在于：在投影物镜和硅片之间放置了一组浮筒装置，该组浮筒装置与投影物镜或投影物镜支承进行刚性联接，该组浮筒装置对硅片表面的位置信息进行测量，测量结果送往调焦调平控制系统，经过信号处理和调焦调平量的计算后，驱动调焦调平执行器对工件台的位置进行调整，完成硅片的调焦调平。