光刻机透镜像差的检测装置及其方法

摘要

本发明公开了一种光刻机透镜像差的检测方法，包括：第1步，开启入射光发生装置，入射光照射到光栅上，通过光栅的衍射光或反射光照射到透镜上，通过透镜的折射光照射到硅片平台上；第2步，调整所述硅片平台和所述透镜的距离、位置，直至所述折射光在所述硅片平台上形成焦点；第3步，所述硅片平台上集成的检测器测量所述焦点的位置、形状、大小和焦距并判断是否符合要求；第4步，沿X轴、Y轴和/或Z轴转动所述光栅，使所述衍射光或反射光照射到所述透镜的不同位置，重复第1步至第4步。本发明还公开了与上述方法对应的检测装置，本发明可实现自动检测、监控光刻机透镜像差，对于提高产品良品率，设备的利用效率都有帮助。

主权项

1.一种光刻机透镜像差检测装置，其特征是：所述装置包括：一入射光发生装置，发射入射光；一成像透镜，选取所述光刻机的主透镜；一光栅和一硅片平台，分别放置在所述透镜的光路两侧；一检测器，集成在所述硅片平台上，测量通过所述透镜的折射光在所述硅片平台上形成的焦点的位置、形状、大小和焦距。