工件的切断方法及加工液

摘要

一种工件的切断方法，以螺旋状卷绕且轴方向行进的钢线而于多个导线器间形成钢线列，且在供给含有磨粒的加工液至工件与钢线的接触部的同时，将工件压抵于钢线列，而将工件切断，其中以硫酸与过氧化氢水的混合液对使用过的磨粒进行处理，将处理后的磨粒重复使用于工件的切断。如此一来，工件的切断中所使用的线锯装置重复使用磨粒时，能使金属杂质对于晶圆的污染受到抑制。

主权项

一种工件的切断方法，以螺旋状卷绕且轴方向行进的钢线而于多个导线器间形成钢线列，且在供给含有磨粒的加工液至工件与该钢线的接触部的同时，并将该工件压抵于该钢线列，而将该工件切断，其中以硫酸与过氧化氢水的混合液对使用过的该磨粒进行处理，将处理后的磨粒重复使用于该工件的切断。