发明名称 |
一种氧化铝基化学机械抛光液 |
摘要 |
本发明涉及一种氧化铝基化学机械抛光液,由以下质量份数的组分组成:氧化铝粉末16~20份、辛癸酸甘油酯18~22份、叔丁基溶纤剂14~18份、脂肪酰二乙醇胺12~16份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐18~22份、丁基卡必醇14~18份、多聚磷酸钠12~16份、山梨酸钙18~22份、癸酸甘油酯14~18份、草酸12~16份、巯基苯骈噻唑钠18~22份、二乙烯三胺五甲叉膦酸14~18份、对硝基苯甲酸14~18份、十水四硼酸钠12~16份、氧化硅粉末18~22份、氮化硅粉末14~18份、百菌清12~16份、三乙醇胺18~22份、黄原胶14~18份、咪唑烷基脲12~16份、鲸蜡醇18~22份、二甘醇二苯甲酸酯14~18份、十溴二苯乙烷12~16份、水10000~20000份。本发明中的产品具有较好的抛光效果。 |
申请公布号 |
CN106221587A |
申请公布日期 |
2016.12.14 |
申请号 |
CN201610705555.5 |
申请日期 |
2016.08.23 |
申请人 |
广安欧奇仕电子科技有限公司 |
发明人 |
蒲昌权;白韵竹 |
分类号 |
C09G1/02(2006.01)I |
主分类号 |
C09G1/02(2006.01)I |
代理机构 |
成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 |
代理人 |
薛波 |
主权项 |
一种氧化铝基化学机械抛光液,其特征在于:由以下质量份数的组分组成:、氧化铝粉末16~20份、辛癸酸甘油酯18~22份、叔丁基溶纤剂14~18份、脂肪酰二乙醇胺12~16份、醇醚磺基琥珀酸单酯二钠盐18~22份、丁基卡必醇14~18份、多聚磷酸钠12~16份、山梨酸钙18~22份、癸酸甘油酯14~18份、草酸12~16份、巯基苯骈噻唑钠18~22份、二乙烯三胺五甲叉膦酸14~18份、对硝基苯甲酸14~18份、十水四硼酸钠12~16份、氧化硅粉末18~22份、氮化硅粉末14~18份、百菌清12~16份、三乙醇胺18~22份、黄原胶14~18份、咪唑烷基脲12~16份、鲸蜡醇18~22份、二甘醇二苯甲酸酯14~18份、十溴二苯乙烷12~16份、水10000~20000份。 |
地址 |
638600 四川省华蓥广华大道中小企业孵化中心C座五楼E区 |