| 发明名称 |
System and method for buried electrical feedthroughs in a glass-silicon MEMS process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2004220026(A1) |
申请公布日期 |
2004.09.23 |
| 申请号 |
AU20040220026 |
申请日期 |
2004.03.10 |
| 申请人 |
HONEYWELL INTERNATIONAL INC. |
发明人 |
JEFFREY A. RIDLEY;ROBERT D. HORNING |
| 分类号 |
B81B7/00;(IPC1-7):B81C1/00 |
主分类号 |
B81B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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