超声波传感器、制造超声波传感器的方法及超声波流量计

摘要

本发明的目的是提供一种超声波传感器，它能够降低性能上的变化，进而提供稳定的精确度，以及提高其耐久性等。本发明还提供了一种制造超声波传感器的方法和一种超声波流量计。为了达到上述目的，根据本发明的超声波传感器包含有一压电元件和一声音匹配层，其中声音匹配层由一种无机氧化物或有机聚合物的干凝胶制成，该干凝胶的固体骨架部分已经变成为疏水的。所得到的超声波传感器的声音匹配层，由于干凝胶的固体骨架部分已经变成为疏水的，因此重量轻而且声音阻抗小。而且，还可以得到性能变化范围小并且由于干凝胶的高同质性而性能稳定的超声波传感器。

主权项

1.一种超声波传感器，包括由一压电元件和一声音匹配层组成的压电振动器，该声音匹配层是由一种无机氧化物或有机聚合物的干凝胶制成的；所述干凝胶的固体骨架部分至少包含氧化硅或氧化铝成分；所述干凝胶的固体骨架部分已经变成为疏水的。