| 发明名称 | 一种蒸镀罩和蒸镀设备 | ||
| 摘要 | 本发明实施例提供了一种蒸镀罩，其包括罩体，所述罩体上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器，所述收集器与所述蒸镀通道可拆卸连接；本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，包括装有蒸镀源材料的蒸镀坩埚和上述所述的蒸镀罩，所述蒸镀罩设于所述蒸镀坩埚的上方。本发明实施例的蒸镀罩能够回收被浪费掉的蒸镀材料，从而提高蒸镀材料的利用率。 | ||
| 申请公布号 | CN105755432A | 申请公布日期 | 2016.07.13 |
| 申请号 | CN201610228686.9 | 申请日期 | 2016.04.13 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 李晓虎;孙中元;王路;朱海彬 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 李相雨 |
| 主权项 | 一种蒸镀罩，其特征在于，包括罩体，所述罩体上设有蒸镀通道和与所述蒸镀通道连通的用于回收蒸镀材料的收集器，所述收集器与所述蒸镀通道可拆卸连接。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||