物理参数估计方法、装置和电子设备

摘要

公开了一种物理参数估计方法、装置和电子设备。该方法包括：读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图；在分数阶傅里叶变换阶次搜索范围内的每个分数阶傅里叶变换阶次下，计算该条纹图中的至少一个第一方向像素集合的强度分布信号在分数阶傅里叶域中的幅度谱，该第一方向像素集合包括第一方向中的一排像素，该第一方向为该条纹图的行方向和列方向之一；根据在每个分数阶傅里叶变换阶次下计算出的幅度谱来确定该至少一个第一方向像素集合的强度分布信号的匹配阶次；以及至少根据该匹配阶次来估计该干涉测量中涉及的物理参数。因此，即使在干涉条纹图存在噪声和干扰的情况下，仍然可以以很高的精度来估计被测件的物理参数。

主权项

一种物理参数估计方法，包括：读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图；在分数阶傅里叶变换阶次搜索范围内的每个分数阶傅里叶变换阶次下，计算所述牛顿环条纹图中的至少一个第一方向像素集合的强度分布信号在分数阶傅里叶域中的幅度谱，所述第一方向像素集合包括第一方向中的一排像素，所述第一方向为所述牛顿环条纹图的行方向和列方向之一；根据在所述分数阶傅里叶变换阶次搜索范围内的每个分数阶傅里叶变换阶次下计算出的幅度谱来确定所述至少一个第一方向像素集合的强度分布信号的匹配阶次；以及至少根据所述匹配阶次来估计所述干涉测量中涉及的物理参数。