发明名称 |
一种钎焊层预淀积方法 |
摘要 |
本发明提供一种钎焊层预淀积方法,包含以下步骤:A:真空溅射镀膜种子层;B:以金层和锡层依次交替电镀的方式沉积各层。采用上述方案,本发明不仅解决了现有技术存在的问题,而且明显具有以下优势:针对采用钎焊的混合集成电路,对传统焊接中采用焊膏或焊料片这一工艺方式进行改进,在电路焊接面(一般指背面)上淀积一层各成份重量比与焊料片的成份相当的焊料层,焊接时可直接将电路放置在焊接位置上,经过加热实现焊接。这种技术不但可以减小焊料片成型的加工工作量,而且可以减少因焊接时焊接位置、焊料片、待焊接电路三者之间的位置偏移造成的废品。 |
申请公布号 |
CN103264202B |
申请公布日期 |
2016.12.28 |
申请号 |
CN201210576167.3 |
申请日期 |
2012.12.27 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
发明人 |
王斌;路波;宋振国;樊明国 |
分类号 |
B23K1/20(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
B23K1/20(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种钎焊层预淀积方法,其特征在于,在电路焊接面上淀积焊料层,焊接时直接将电路放置在焊接位置上,经过加热实现焊接,外形与混合集成电路外形严格一致,焊接时仅考虑混合集成电路与焊接位置两者间的对准,包含以下步骤:A:采用磁控溅射的方法,在混合集成电路介质基片上依次淀积粘附层TiW层和电镀种子层Au层;B:以金层和锡层依次交替电镀的方式沉积各层;金的密度为19.3g/cm<sup>3</sup>,锡的密度为7.31g/cm<sup>3</sup>;金和锡的重量比是80.4∶19.6;所述金层与锡层总厚度比为1.55∶1;所述金层和锡层间隔电镀,每层1微米;所述金层和锡层共计电镀9层。 |
地址 |
266000 山东省青岛市经济技术开发区香江路98号 |