金属氧化物膜的制造方法

摘要

本发明提供一种金属氧化物膜的制造方法，是使用金属氧化物膜形成用溶液的廉价的湿式涂覆法，可以在具有复杂的构造部的基材或多孔材料的基材等上获得均匀并且致密而具有足够的膜厚的金属氧化物膜。本发明通过提供如下的金属氧化物膜的制造方法来解决所述问题，即，具有：第一金属氧化物膜形成工序，其通过使溶解了作为金属源的金属盐或金属络合物、氧化剂及还原剂的至少一方的第一金属氧化物膜形成用溶液与基材接触，而在所述基材上形成第一金属氧化物膜；第二金属氧化物膜形成工序，其通过将具备了所述第一金属氧化物膜的基材加热至金属氧化物膜形成温度以上的温度，使之与作为金属源溶解了金属盐或金属络合物的第二金属氧化物膜形成用溶液接触，而获得第二金属氧化物膜。

主权项

1.一种金属氧化物膜的制造方法，具有：第一金属氧化物膜形成工序，其通过使溶解了作为金属源的金属盐或金属络合物、以及氧化剂及还原剂的至少一方的第一金属氧化物膜形成用溶液与基材接触，而在所述基材上形成第一金属氧化物膜；第二金属氧化物膜形成工序，其通过将具备了所述第一金属氧化物膜的基材加热至金属氧化物膜形成温度以上的温度，使之与作为金属源溶解了金属盐或金属络合物的第二金属氧化物膜形成用溶液接触，而获得第二金属氧化物膜。