用超快激光和束光学器件切割透明材料

摘要

用于对材料进行激光钻孔的系统包含脉冲激光器，其构造成产生波长小于或等于约850nm的脉冲激光束(2),选定所述波长，从而在所述波长下材料是基本上透明的。所述系统还包含设置在激光束路径中的光学组装件(6),其构造成在光学组装件(6)的束出射侧上，将激光束(2)转换成沿着束传播方向取向的激光束聚焦线(2b)。

主权项

一种对材料进行激光钻孔的方法，该方法包括：将脉冲激光束聚焦成沿着束传播方向取向的激光束聚焦线，所述激光束的波长小于或等于约850纳米；和将所述激光束聚焦线引导进入材料,所述激光束聚焦线在材料之内产生诱导吸收,所述诱导吸收在材料之内沿着激光束聚焦线形成缺陷线，所述缺陷线的直径小于或等于约300纳米。