一种SiC光学材料加工设备

摘要

本发明公开了一种SiC光学材料加工设备，包括电感耦合等离子体发生装置、工作气体供给源（8）和反应气体供给源（9），所述反应气体供给源（9）中装有能通过电感耦合等离子体发生装置激发后与SiC发生化学反应的反应气体，所述电感耦合等离子体发生装置包括等离子体炬管（34）和套设于等离子体炬管（34）外的感应线圈（35），所述工作气体供给源（8）和反应气体供给源（9）与等离子体炬管（34）相连，所述感应线圈（35）的一端与射频电源（4）相连，所述感应线圈（35）的另一端通过可调电阻器R1接地。本发明具有结构简单、成本低廉，加工过程无亚表面损伤、无残余应力层产生，加工效率高等优点。

主权项

一种SiC光学材料加工设备，其特征在于：包括电感耦合等离子体发生装置、工作气体供给源（8）和反应气体供给源（9），所述反应气体供给源（9）中装有能通过电感耦合等离子体发生装置激发后与SiC发生化学反应的反应气体，所述电感耦合等离子体发生装置包括等离子体炬管（34）和套设于等离子体炬管（34）外的感应线圈（35），所述工作气体供给源（8）和反应气体供给源（9）与等离子体炬管（34）相连，所述感应线圈（35）的一端与射频电源（4）相连，所述感应线圈（35）的另一端通过可调电阻器R1接地。