发明名称 MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1352229(B1) 申请公布日期 2004.09.22
申请号 EP20020702267 申请日期 2002.01.15
申请人 STEAG ETA-OPTIK GMBH 发明人 KUBITZEK, RUEDIGER
分类号 G01J3/50;G01N21/25;G01N21/47;G01N21/57;(IPC1-7):G01N21/47 主分类号 G01J3/50
代理机构 代理人
主权项
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