局所的な試料の特性によって制御されるプロービングの適応モードを備えたプロービングを利用したデータ収集システム

摘要

【課題】ナノプローブを用いて集積回路（ＩＣ）をテストするための方法が開示される。【解決手段】該方法は、ナノプローブをＩＣの所定の部分に位置合わせするために走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いることと、ナノプローブを対象領域にナビゲートすることと、ナノプローブをＩＣの表面上で走査させながら、ナノプローブからのデータを読み取ることと、ナノプローブが対象部分を横断することをナノプローブからのデータが示すときに、ナノプローブの走査の速さを減速させ、ＩＣのテストをおこなうこととを含む。走査は規定のナノプローブの先端の力でおこなわれることが可能である。また該方法は、ナノプローブの走査の速さを減速させる時に、ナノプローブの先端の力を増大させることをさらに含む。【選択図】図２