发明名称 光照射装置および光照射方法
摘要
申请公布号 JP6015810(B2) 申请公布日期 2016.10.26
申请号 JP20150098953 申请日期 2015.05.14
申请人 ウシオ電機株式会社 发明人 木村 淳治;石井 一正
分类号 G02F1/13;G02F1/1337;G03F7/20 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
地址