液体ターゲット材料のためのスパッタリングシステム

摘要

スパッタリングシステムは、基板上に液体金属膜を堆積するためのマグネトロンアセンブリを備える。マグネトロンアセンブリは、液体金属ターゲットを有する水平平面型マグネトロン、金属ターゲットを有する円筒形の回転可能なマグネトロンおよび平面型と回転可能なマグネトロンとの間にチャンバーを形成する１つまたは複数の遮蔽板の一組を備える。【選択図】なし