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发明名称 METHOD FOR PRODUCING TWO-DIMENSIONAL PERIODIC STRUCTURES IN A POLYMERIC MEDIUM
摘要
申请公布号 EP1738227(A2) 申请公布日期 2007.01.03
申请号 EP20050762341 申请日期 2005.04.22
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 HUBERT, CHRISTOPHE;FIORINI-DEBUISSCHERT, CELINE;NUNZI, JEAN-MICHEL
分类号 G03F7/20;B23K26/08;B82B3/00;G03F7/00;H01L51/40 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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