移载容器及应用于移载容器的导电结构

摘要

本实用新型是有关于一种移载容器及应用于移载容器的导电结构，特别是指一种可防止静电产生、且导出静电的移载容器导电结构，该移载容器包含一底座及一壳罩，壳罩可选择性覆盖于底座上形成一置放物件的容置空间，且底座及壳罩与物件间并形成有至少一供静电导通的通路，而导电结构是底座底面，其具有一可与该通路连接、且向下凸出的导电柱，该导电柱并具有一可产生回复预力的弹性件，使得移载容器置于金属工作平台时，可确保移载容器内与物件上的静电可经由该导电柱导出，防止移载容器与物件残留静电，达到减少微粒等有害物质附着于光罩或晶圆等物件表面的目的。

主权项

1. 一种移载容器，该移载容器用于容置半导体光罩或晶圆等物件，其特征在于其包含有：一底座，其可供承置物件；一壳罩，其可选择性与前述底座相对覆盖或分离，该壳罩相对覆盖于底座时形成一容置前述物件的容置空间；多个导电单元，其设于底座的底部，且底座与壳罩两者至少其一与导电单元及物件形成导电连通，导电单元具有至少一导电柱，该导电柱具有一可向外产生回复预力的弹性件，使得导电柱在移载容器置在工作平台导体时，导电柱可常保与外部导体接触，供形成一导通移载容器内物件与外部导体的导电通路机制。