样品分析系统以及样品分析方法

摘要

本发明公开一种样品分析系统以及样品分析方法，该样品分析系统具备：样品台，其对样品进行支撑且角度可调节；气体供给单元，包括混合气体制备装置和气流喷出装置，其中，所述混合气体制备装置用于形成混合气体，所述气流喷出装置将所述混合气体以一定的流量喷射到所述样品表面；光反射式分析仪，其对所述样品进行光学分析；以及，温度调控单元，其对样品台和气体供给单元的温度进行调控。根据本发明，由于不需要腔室和真空，并且采用光反射式分析仪替代常规使用的椭偏仪，能够大幅度降低成本，提高测试速度，并实现对更大厚度样品的测量分析。另外，由于不需要精确的测温装置，由此，能够进一步简化样品分析系统，从而进一步降低成本。

主权项

一种样品分析系统，其特征在于，具备：样品台，其支撑样品且角度可调节；气体供给单元，包括混合气体制备装置和气流喷出装置，其中，所述混合气体制备装置用于形成混合气体，所述气流喷出装置将所述混合气体以一定的流量喷射到所述样品表面；光反射式分析仪，其对所述样品进行光学分析；以及，温度调控单元，其对所述样品台和所述气体供给单元进行温度调控。