光敏的防反射底面涂层

摘要

提供防反射组合物以及使用这些组合物形成电路的方法。所述组合物包含溶于或分散于溶剂系统中的聚合物。优选的聚合物包括聚碳酸酯类、聚磺酸酯类、聚碳酸酯－砜类以及它们的混合物。所述组合物可以施涂到硅片或其它基材上，形成开始时不溶于一般光致抗蚀剂显影溶液中的固化或硬化层。当暴露到光中时，所述固化或硬化的层在光致抗蚀剂显影溶液中变得可溶，使所述层和显影的光致抗蚀剂层一起选择性除去，由此取消单独的除去步骤。

主权项

1.一种聚合物，它包含具有选自如下通式(II)的重复单体：式中，X¹选自二醇和二肟的官能团部分；X²选自芳基和烷基；X¹和X²中至少一个包含芳族基团。